關(guān)于混合氣體的流量測(cè)量及控制

從科研實(shí)驗(yàn)到工業(yè)制造，很多涉及氣體應(yīng)用的行業(yè)都可能會(huì)使用混合型氣體；而且在很多實(shí)際應(yīng)用中，需要進(jìn)行多種氣體定量混合配氣，將不同氣體按一定的比例混合到一起，配出不同濃度、多種組分的工藝氣體后才能更好的滿足工藝性能的要求。

      對(duì)于單一組分的氣體，選擇氣體質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行流量的測(cè)量和控制在眾多用氣行業(yè)中已經(jīng)有比較成熟的應(yīng)用了，尤其是氣體質(zhì)量流量控制器MFC在對(duì)氣體流量的一體化自動(dòng)控制方面具有很明顯的優(yōu)勢(shì)，可以很好的實(shí)現(xiàn)跟電腦、上位機(jī)之間通過(guò)多種協(xié)議通訊，對(duì)氣體流量進(jìn)行精確的閉環(huán)控制。

      然而，氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM及質(zhì)量流量控制器MFC本身也存在幾種不同的工藝原理，目前市場(chǎng)上主要有三種原理：熱式、差壓式、科里奧利（科氏）原理。

      對(duì)于混合氣體，如果知道具體的組分比例，則可以選擇熱式或差壓式；因?yàn)闊崾胶筒顗菏皆黼m然是與氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，但是也會(huì)與氣體自身的其它特性相關(guān)，所以需要知道具體是什么氣體或者混合氣體中每種氣體的大概比例，這樣測(cè)量出的流量值才會(huì)相對(duì)準(zhǔn)確。

      但在有些應(yīng)用中，有時(shí)候氣體源本身就是不確定的組分，例如組分較多的有機(jī)溶劑或者組分不明確的固體蒸發(fā)、揮發(fā)出的氣體，由多種單一氣體非定量混合后的氣體，以及一些工藝流程后排出的氣體等等。。。。這些混合氣體因?yàn)椴恢榔渚唧w組分，但是又需要精確測(cè)量流量，則可以使用科里奧利（科氏）質(zhì)量流量計(jì)及質(zhì)量流量控制器；因?yàn)榭剖显淼馁|(zhì)量流量計(jì)只與介質(zhì)的質(zhì)量相關(guān)，與其它特性無(wú)關(guān)，所以可以直接輸出質(zhì)量流量。

但是，科氏產(chǎn)品的造價(jià)相對(duì)于熱式和差壓式更高一些，所以在具體應(yīng)用中，如果成本預(yù)算有限，對(duì)測(cè)量結(jié)果要求不是很高，又知道混合氣體的主要成分，則可以考慮熱式或差壓式，但是如果對(duì)測(cè)量結(jié)果要求較高，或者混合氣體中并沒(méi)有很明顯的主要組分，那么科里奧利（科氏）原理的質(zhì)量流量計(jì)MFM及質(zhì)量流量控制器MFC還是最合適的選擇。